型錄編號 : CC-1596T 更新日期 : 2023-08-14 09:02:36
製程氣體用調壓閥 PGM系列
- 型錄簡介
【NEW】追加對應流量200L/min的新機種PGM-2H！
採用金屬膜片的製程氣體用調壓閥。
有助於氣體壓力、流量的安定化。 - 相關產品型號
PGM、PGM-H、PGM-2H
- 備註
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【NEW】追加對應流量200L/min的新機種PGM-2H！
採用金屬膜片的製程氣體用調壓閥。
有助於氣體壓力、流量的安定化。
PGM、PGM-H、PGM-2H
點我進入產品簡介
採用金屬膜片的製程氣體用調壓閥。
有助於氣體壓力、流量的安定化。
PGM-30V、PGM-30、PGM-50、PGM-100、PGM-H-60、PGM-H-100
省能源型真空排氣裝置。
VG-05F、VG-05P
利用旋鈕控制的藥液用手動閥，
簡單轉動旋鈕即可關閉閥。
OGD10R-4RM、OGD10R-4R、OGD10R-4S、OGD20R-6RM、OGD20R-6R、OGD20R-6S
MGD10R-4RM、MGD10R-4R、MGD10R-4S、MGD20R-6RM、MGD20R-6R、MGD20R-6S
跟上微細化進展的腳步，高耐久的製程氣體用閥。
備有3種類型，滿足顧客的各種需求。
AGD※※R-HD、AGD※※R-HDF、AGD21R-A
製程氣體用閥的主幹商品。採用金屬膜片，
除單體、集積型外，更有3口閥、2連3口閥等各式各樣的類型。
AGD0※R-4RM、AGD0※R-4R、AGD1※R-4RM、AGD1※R-4R、AGD1※R-4S、AGD2※R-6RM、AGD2※R-6R、
AGD2※R-6S
採用了金屬膜片的製程氣體用閥新機種，以鍛造閥體的泛用型登場！
備有氣動型、手動型。
關於產品使用注意事項，
請參閱精密乾燥元件綜合型錄（CB-035T）
LGD11、LGD12、LGD21、LGD22、LGD10、LGD20
