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真空壓力控制系統 IAVB Series 維持以往高真空閥的可靠度，再增加可實現多種製程的壓 力控制功能。 針對所有業界及用途的真空控制新方案。 ・高真空閥 ＋ 壓力控制 ・可進行全閉動作 ・可進行緩慢排氣控制 ・高耐久‧使用壽命長 ・簡單維修 ・因應RoHS指令 ・萬全的潔淨度管理體制 |
| 真空系統元件 產生器系統、真空幫浦系統、吸附吸盤、真空相關元件。 |
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